一台典型的X射线荧光（XRF）仪器由激发源（X射线管）和探测系统构成。

X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。

探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。

下图显示了最基本的台式EDXRF分析器的示意

图基本台式EDXRF分析仪示意图

• X射线发生器作为X射线源

• 控制光斑大小的X射线光束光学器件

• 样品台

• 探测器(分为Si-PIN 与SDD )

• 前置放大器和数字脉冲处理器处理荧光X射线信号

• 计算机